只有粒径05微米以上地粉尘10粒。而我们te要求的是12粒。”说完带着一种自豪的眼光望着眼前那充满了科幻气息一种朦胧美的厂房,的确。他们有骄傲的理由,要知道css后头数字越小,洁净度越佳,其造价也越昂贵。龙腾科技的洁净室是要求最低级别的。
这个时候张国栋注意到墙上有一个霓虹灯打出来的相关技术与使用管理办法,
“1、内部要保持大于一大气压地环境,以确保粉尘只出不进。所以需要大型鼓风机,将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中
2、保持温度与湿度的恒定为了保持这个恒定,大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之,鼓风机加压多久。冷气空调也开多久。这也就是一个同步的问题
3、所有气流方向均由上往下为主这一点相当的严格,必须尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配,使粉尘在洁净室内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。
4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。这在87年的中国有点难度,不过军事上应该有相关的建材,张国栋应该能搞定
5、所有人事物进出,都必须经过空气吹浴airshwer地程序,将表面粉尘先行去除。这也是龙腾科技的标准程序
6、进出使用人员必须穿戴无尘衣,除了眼睛部位外,均需与外界隔绝接触人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源。为此务必严格要求穿戴无尘衣,就像现在他们进来,而在次微米制程技术的工厂内,工作人员几乎穿戴得像航天员一样。当然,化妆是在禁绝之内,铅笔等也禁止使用。
7、使用水只能限用去离子水diwater,dionzedwater。
这是除了空气以外的又一则严格要求一来防止水中粉粒污染晶圆,二来防止水中重金属离子,如钾、钠离子污染金氧半os晶体管结构之带电载子信道carrierchann,影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率resistivty来定义好坏。一般要求至175以上才算合格;为此需动用多重离子交换树脂、ro逆渗透、与uv紫外线杀菌等重重关卡。才能放行使用。由于去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,其在半导体工业之使用量极为惊人所以张国栋又多了一项扶植下游产业的机会
8、洁净室所有用得到的气源。包括吹干晶圆及机台空压所需要地,都得使用氮气98,吹干晶圆地氮气要求998以上的高纯氮”
看着上面地规定,张国栋长长的舒了一口气,这样的规定,这样的细节,张国栋知道其实还有诸如污水处理,废气排放等环保问题,这也需要大规模的投入,后世的意法半导体就是以环境保护措施施行严格闻名的。
很显然,从初步震撼中回神的技术员们也看到了墙上的规定,也许别的他们不知道,可是那个限用重离子水和998的纯氮就让他们吃惊得舌头都要吐出来了。那位小白同志显然对自己造成的震撼也比较满意,不过当他看到张国栋那若无其事的样子后心中又微微的不服气起来,尽管他听总裁说眼前这家伙也算是一个大老板了。
好在龙腾科技已经有了初步的洁净室了,虽然可能没有办法提升到te这种比较变态的css1级,但是从css10到css5应该还是不难的,只要再增添一些设备,然后在某些设计方面做些必要的改进,对管理进行得更加严格一些应该就没问题了。张国栋是暗暗下定决心,回到深圳后一定要将洁净室的等级给提上去,细节决定成败,既然目前龙腾科技没办法弄到15微米的生产线,那么就在细节上下功夫
随着小白同志的带领,张国栋他们进入到硅晶圆的制作室,硅晶圆是一切集成电路芯片的制作母材料。
“我们te采用的是柴可拉斯基拉晶法cz法,你们看,现在机器正在进行拉晶,首先要将特定晶向的晶种浸入过饱和的纯硅熔汤中,然后同时旋转拉出,硅原子便会依照晶种的晶向,乖乖的一层层往上涨,你们看,那儿,就是得到的晶棒。当然我们te是不会使用这种原始的晶棒的,我们一般会采用fz法将之再结晶,将杂质逐出,提高纯度与阻值。”